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皮拉尼真空計的工作原理及工作范圍
皮拉尼真空計的工作原理及工作范圍
更新時間：2023-05-27 點擊次數(shù)：2051
皮拉尼真空計是一種廣泛應用于科學研究和工業(yè)生產(chǎn)中的高精度真空測量儀器。它利用了氣體分子與固體表面碰撞的物理原理，通過測量氣體壓力與電流之間的關系來確定真空度。主要由兩個主要部分組成：感應器和電子控制器。感應器通常由一個玻璃管、一個導電絲和一個金屬盒子組成。可以將該感應器放置在所需區(qū)域內，并用一個高壓電源給導電絲通電。當導電絲加熱時，它會發(fā)出熱電子，這些熱電子會與氣體分子碰撞，并將其中的電荷帶到感應器金屬盒子中。當金屬盒子中的電荷積累到足夠多時，就可以測量其電流信號并將其轉換為相應的氣體壓力值。
電子控制器通常由一個微處理器和一些其他電子元件組成。微處理器負責讀取感應器的電流信號，并將其轉換為真空度值。此外，電子控制器還可以提供各種附加功能，如記錄和存儲測量數(shù)據(jù)、顯示真空度值以及提供警報和故障診斷等。
皮拉尼真空計
的工作原理基于氣體分子與導電絲之間的碰撞。當導電絲受到加熱時，其表面會發(fā)出熱電子。這些電子與氣體分子碰撞時，會將氣體分子激發(fā)成帶電離子。這些離子會向金屬盒子移動，并在金屬盒子表面積累成一個電荷云。當電荷積累到一定程度時，會形成一個穩(wěn)定的電流信號。這個電流信號的大小與氣體分子的數(shù)目成正比，因此可以用來測量壓力值。
然而，要注意到其工作范圍并不是無限制的。它的測量范圍通常被限制在10-3到10-9巴之間，因為在更高或更低的壓力下，感應器中的氣體分子數(shù)量會變得太少或者過多，從而影響測量精度。
總的來說，皮拉尼真空計是一種高精度、可靠性高的真空測量儀器。它在科學研究和工業(yè)生產(chǎn)中都有廣泛的應用，在半導體制造、真空冷卻、太空工程等多個領域都有重要作用。
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