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INFICON的晶振片使用方法

發(fā)表時間:2013/8/12      點(diǎn)擊次數(shù):4436

晶體的質(zhì)量和壽命不僅影響速率和厚度測量的準(zhǔn)確性,更重要的是還決定著受控制的過程能否成功完成。INFICON 石英晶體具有經(jīng)過實(shí)踐驗(yàn)證的品質(zhì)和可靠性,其在各種材料、應(yīng)用和行業(yè)中的無數(shù)次成功的過程運(yùn)行充分證明了這一點(diǎn)。

    我們的 6 MHz 晶體可與所有 INFICON 控制器和監(jiān)控器結(jié)合使用。而 5 MHz 晶體只能與 5MHz 儀器結(jié)合使用;與有些 INFICON 儀器并不兼容。6 MHz 和 5 MHz 晶體具有金、銀或合金三種電極并根據(jù)您的需要采用各種包裝。

 

如果選用zui合適的晶振片?

  1. 金是zui廣泛使用的傳統(tǒng)材料,它具有低接觸電阻,高化學(xué)穩(wěn)定性,易于沉積。用于低應(yīng)力材料,如Al、 Au、Ag、Cu。
  2. 銀是接近的電極材料,有非常低的接觸電阻和優(yōu)良的塑變性。然而容易硫化,硫化后的銀接觸電阻高,降低晶振片上膜層牢固。銀鋁合金適合高應(yīng)力膜料的鍍膜監(jiān)控;所以使用鍍銀或銀鋁合金鍍高應(yīng)力膜,如:Ni、 Cr、 Mo、 Zr、 Ni-Cr、 Ti等。
  3. 使用銀鋁合金晶振片鍍介質(zhì)光學(xué)膜,如:MgF2、 SiO2、 Al2O3、 TiO2等。
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