磁控多弧離子鍍膜機(jī)應(yīng)用

       應(yīng)用：手機(jī)外殼，MP3外殼，數(shù)碼相機(jī)外殼，表殼、表帶、眼睛架、健身球、首飾、燈具、餐具、工藝美術(shù)品上，工具、刀具、模具等

         發(fā)展：多弧離子鍍膜始于上個(gè)世紀(jì)70年代，采用真空環(huán)境下引火器引燃弧光放電源（陰極）與 真空室（陽(yáng)極）之間形成自持弧光放電，使從陰極弧光輝點(diǎn)射出的陰極物質(zhì)離子形成空間電荷層，產(chǎn)生強(qiáng)電場(chǎng)，使陰極表面上功函數(shù)小的開(kāi)始發(fā)射電子；電流局部集 中產(chǎn)生的焦耳熱使陰極材料局部地爆發(fā)性地等離子化，發(fā)射電子和離子，同時(shí)也放出熔融的陰極材料，在工件偏壓的作用下與反應(yīng)器件化合而沉積在工件表面上，從 而在工件上形成被鍍的膜。多孤離子鍍膜機(jī)離化率高沉積速度高，適用于鍍制裝飾膜和超硬耐磨膜。多弧離子鍍膜機(jī)的基礎(chǔ)上配置圓柱靶或平面磁控靶，結(jié)合磁控濺 射低溫、穩(wěn)定的優(yōu)點(diǎn)，適合鍍單層膜和各種復(fù)合膜層。如：金色的氮化鈦，黑色的碳化鈦，七彩的氮氧化鈦等，亦可鍍防腐蝕膜（如：AL、Cr不銹鋼及TiN 等）。

配置和技術(shù)參數(shù)：

▲真空室箱體：304不銹鋼1600*1800mm，并可以根據(jù)客戶(hù)具體要求設(shè)計(jì)非標(biāo)產(chǎn)品 　▲夾具方式：6軸公自轉(zhuǎn)行星式齒輪結(jié)構(gòu)，工件速度在1-30轉(zhuǎn)/分鐘可調(diào)。 　▲控制氣體方式：采用質(zhì)量流量計(jì)控制，進(jìn)氣穩(wěn)定，反映速度快。 　▲多弧靶:15套三組多弧蒸發(fā)源，從上到下五個(gè)弧源一組，真空室體兩側(cè)個(gè)一組，門(mén)上一組 ▲磁控濺射陰極：圓柱靶磁控濺射陰極一套，Ф80X1600；嚴(yán)格縝密的磁場(chǎng)設(shè)計(jì)和磁場(chǎng)布局，刻蝕均勻。 　▲抽真空參數(shù)：從大氣抽至5*10‾³Pa≤15min 極限真空度8*10‾4Pa 　▲抽氣系統(tǒng)：采用國(guó)產(chǎn)品牌機(jī)械泵、羅茨泵、擴(kuò)散泵，根據(jù)其真空室大小確定合理型號(hào)。也可以根據(jù)客戶(hù)的需要配備分子泵或者進(jìn)口泵等。 　▲電源：逆變電弧電源，磁控濺射可配置20KW中頻電源或直流脈沖電源 ▲PLC控制系統(tǒng)：有手動(dòng)和自動(dòng)，全系統(tǒng)具有互保護(hù), 泵閥互鎖