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四極質(zhì)譜殘余氣體分析儀特點(diǎn)應(yīng)用及在工藝中的效果

發(fā)表時(shí)間：2011/4/6 點(diǎn)擊次數(shù)：1949

四極質(zhì)譜殘余氣體分析儀特點(diǎn)應(yīng)用及在工藝中的效果

特點(diǎn)及應(yīng)用：

•操作簡單

•可靠，方便

•定性或定量分析監(jiān)測濺射鍍膜反應(yīng)工藝過程中真空室內(nèi)的氣體分壓強(qiáng)

•優(yōu)化工藝過程參數(shù)，提高鍍膜產(chǎn)品質(zhì)量

•在線原位分析真空環(huán)境及工藝氣體

•對真空系統(tǒng)檢漏

在工藝中的效果

•改善質(zhì)量

•提高流片量

•縮小工藝周期
•改進(jìn)工藝

•減少停機(jī)時(shí)間
•降低成本

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