INFICON 前載式雙晶體探頭提供驗(yàn)證的可靠性和持久性, 與市場(chǎng)上任何探頭探頭相比, 具有的熱穩(wěn)定性. 雙探
頭提供備份晶體, 在真空室內(nèi)需要第二個(gè)晶體的關(guān)鍵過(guò)程中是至關(guān)重要的.

    對(duì)于從側(cè)面插入無(wú)足夠空間的應(yīng)用, 前載式結(jié)構(gòu)易于插入晶體架. 采用機(jī)械裝配代替焊接, 必要時(shí)可現(xiàn)場(chǎng)方便地更換
部件. 探頭可單個(gè)訂購(gòu)或訂購(gòu)探頭 / 法蘭組合, 可選焊接的或直口接頭裝配的結(jié)構(gòu).
探頭配置
前載式雙探頭的標(biāo)準(zhǔn)配置中水管與晶片平行. 當(dāng)*晶體監(jiān)測(cè)
沉積速率時(shí), 氣動(dòng)晶體擋板保護(hù)備份晶體. 擋板是下拉式結(jié)構(gòu),
便于更換晶體. 為有效地消除 RF 干擾, 暴露的晶體電極是全部接地的.
法蘭

    INFICON 提供兩種法蘭, 1" 螺紋法蘭或2¾" （CF40） ConFlat® 法蘭法蘭.
按用戶(hù)要求可提供 KF40 法蘭.
法蘭連接
前載式雙探頭可訂購(gòu)與法蘭的組合. 探頭 / 法蘭連接可采用直口接頭或焊接 （當(dāng)與 1" 螺紋法蘭組合時(shí)）. 如需焊
接連接, 必須在訂購(gòu)前填寫(xiě) INFICON 提供的一個(gè)探頭長(zhǎng)度規(guī)格表. 直口接頭易調(diào)整, 無(wú)釬焊或焊接的要求. 法蘭
可沿著管長(zhǎng)移動(dòng), 對(duì)于 "E" 長(zhǎng)度探頭, 在真空系統(tǒng)內(nèi)的長(zhǎng)度可在 20.3 厘米至 71.1 厘米 （8"- 28"） 的范圍內(nèi)調(diào)整,
對(duì)于 "G" 長(zhǎng)度探頭. 一旦確定所需長(zhǎng)度, 直口接頭可用手指擰緊管密封件.
優(yōu) 點(diǎn)
■ 雙晶體
■ 晶體擋板
■ 前載式晶體支架
■ 如訂購(gòu)直口接頭的, 可調(diào)節(jié)長(zhǎng)度
 ■ 可提供:
- 2.54 厘米（1"） 螺紋法蘭
- CF40 法蘭
■易安裝
■ 如訂購(gòu)直口接頭的,無(wú)需釬焊或焊接至法蘭
■ 可按客戶(hù)要求提供特定長(zhǎng)度焊接的探頭/ 法蘭組合.
探頭 1 探頭2 探頭1
探頭2
前載式雙傳感器2
DL –
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訂購(gòu)資料
前載式雙探頭 （帶真空內(nèi)電纜）
探頭型號(hào) （包括真空內(nèi)電纜, 晶體抓住器和用戶(hù)手冊(cè). 晶
體單獨(dú)銷(xiāo)售）
雙探頭 （水管與晶片平行）
帶擋板…................................................................................... A
探頭長(zhǎng)度– 見(jiàn)注1 和注3
標(biāo)準(zhǔn)長(zhǎng)度 – 203 毫米（8"） 至 711 毫米（28"） 包括兩根
781 毫米 （30.75"） 真空內(nèi)電纜. 見(jiàn)注6 ................................................ E
延伸長(zhǎng)度– 大于 711 毫米（28"）; zui大1219 毫米 （48"）
包括 1524 毫米 （60"） 真空內(nèi)電纜.
見(jiàn)注 6 .................................................................................................... G
法蘭
無(wú)............................................................................................................ 0
2.54厘米（1"） 螺紋....................................................................... 3
CF40....................................................................................................... 4
法蘭連接
探頭未連接法蘭 ...................................................................... 0
探頭焊接至法蘭 ..................................................................... 7
可變長(zhǎng)度帶 Ultra-Torr 直口接頭. （使用直口接頭使
探頭長(zhǎng)度可變） ........... 8
未提供下列組合 （見(jiàn)注4 和 5）: DL-AE47, DL-AG47