LINXON 是真空儀器的全新*品牌, 由真空行業(yè)創(chuàng)新儀器的供應(yīng)者 INFICON 設(shè)計(jì)和制造。LINXON myRGA 四極質(zhì)譜儀以的高性價比提供高性能設(shè)備, 通過精選的本地合作伙伴（科銳詩?。╀N售, 并可以通過視頻教程對常見問題進(jìn)行解答, 滿足普通真空和科研市場的生產(chǎn)、研發(fā)、集成和支持的需求。
LINXON myRGA的優(yōu)勢
- 可靠的殘余氣體分析儀,以非常優(yōu)惠的價格提供空氣泄漏和污染檢測所需的性能。
- 使用 myRGA, 無需安裝軟件。 該儀器由集成的機(jī)載網(wǎng)頁服務(wù)器，通過網(wǎng)頁瀏覽器操作, *獨(dú)立于您的操作系統(tǒng)。通過 PC, 平板電腦或智能手機(jī)訪問 myRGA的機(jī)載網(wǎng)頁，服務(wù)器可動態(tài)適應(yīng)您的屏幕尺寸和分辨率. 如您愿意使用 LabVIEW 軟件操作 LINXON myRGA, 隨機(jī)附有 LabVIEW 軟件開發(fā)套件. 使用提供的 LabVIEW 驅(qū)動程序示例來定制軟件,滿足您的需求。
- 軟件可提供中英文雙語種，為英文或中文不佳的用戶提供多種選擇。
- 適用于多種細(xì)分行業(yè)，例如：真空鍍膜行業(yè)。
與使用哪種 PVD 類型的過程 (EB-PVD, IB-PVD, 或標(biāo)準(zhǔn) PVD) 無關(guān), LINXON myRGA 均可提供與任何其他監(jiān)測方法不同的系統(tǒng)視圖。無論是監(jiān)測工藝室是否漏氣, 還是監(jiān)測氣體管線是否被污染，如果您需要找出工藝室未 達(dá)到基本真空的原因, 可使用內(nèi)置的檢漏功能有效地查找泄漏所在。
熱處理，任何低壓熱處理應(yīng)用都可受益于使用 LINXON myRGA。如對某特定氣體是否與所用的金屬發(fā)生相互作用有疑問, myRGA 可監(jiān)測其質(zhì)量數(shù), 并顯示其存在和相對含量。 myRGA 還可用于實(shí)時泄漏監(jiān)測或在基本壓強(qiáng)下的手動檢漏。
- 新型通道式電子倍增器，延長使用壽命, 提供比法拉第杯 (FC) 高的靈敏度和高的增益。新傳感器設(shè)計(jì)提供了可現(xiàn)場更換電子倍增器 (EM) (如配備) 的附加好處. 在定期的維護(hù)日程內(nèi)可現(xiàn)場快速更換 EM。
- 用于 myRGA 傳感器的現(xiàn)代化離子源設(shè)計(jì)將兩根燈絲集成在陽極, 陰極和反射極的組裝件中，雙燈絲設(shè)計(jì)中包含一根可使 RGA 具有大上線時間的備用燈絲。使用 myRGA, 還可獲得特定應(yīng)用的燈絲選擇 (鎢絲用于含鹵素的過程或涂敷氧化釔的銥燈絲用于含氧的過程), 增加燈絲的壽命. 更換 myRGA 中的燈絲套件相當(dāng)于更換傳統(tǒng) RGA的整個離子源, 節(jié)約成本, 從而大大地降低總體擁有成本。
例如：UHV 電子束成長市場，工藝制程監(jiān)控及污染物的探測, RGA 是*的，其成長過程可持續(xù) 9 個月或更長，在真空狀態(tài)下不能因?yàn)闊艚z損壞而中斷真空，采用LINXON myRGA可以很好地解決這個問題。
- LINXON myRGA的另一個關(guān)鍵特征是能夠在與質(zhì)譜儀并行運(yùn)行的同時測量總壓強(qiáng). 這個壓強(qiáng)測量 可用于燈絲的保護(hù)。
- 新型饋入件結(jié)構(gòu)便于連接電子單元控制器。
- TCP/IP 以太網(wǎng)連接，可通過以太網(wǎng)現(xiàn)場固件升級?；诨ヂ?lián)網(wǎng)瀏覽器平臺可觀察多個屏幕 ，例如在UHV 加速器/對撞機(jī)市場，可以很方便地實(shí)現(xiàn)監(jiān)測、檢漏、診斷、調(diào)諧等功能。
- 高速數(shù)據(jù)收集為好的統(tǒng)計(jì)學(xué)的制程控制 (SPC) AEC/APC給出多的統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)?，F(xiàn)代化的電子單元，具有超快數(shù)據(jù)收集 1 毫秒測量時間，意味著在工藝制程中關(guān)鍵點(diǎn)收集更多的數(shù)據(jù)點(diǎn)，提高數(shù)據(jù)分辨率用于真空閥件的檢漏, 當(dāng)需要時給出更多的數(shù)據(jù)點(diǎn)。
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